油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
欢迎使用LHBSX汉语词典！我们提供海量词语、成语、近义词、反义词及组词查询。专业释义，精准全面，助您轻松掌握汉语词汇。如有疑问，欢迎反馈。